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나노시스템 소식
측정·검사 분야의 세계적 Leading Company
백색광 간섭계 (WSI)는 부드럽고 보통 거친 표면의 표면 높이를 측정하여 NA에
관계없이 0.5nm 수직 분해능을 제공합니다. 수직 분해능을 손상시키지 않고 모든 배율을 사용할 수 있습니다.
위상 차 간섭계 (PSI)는 0.1 nm 의 수직 분해능을 제공합니다.
따라서 매우 낮은 배율 (2.5X)을 사용하면 높이 해상도를 높이면서 큰 FOV를 얻을 수 있습니다.
ISO라는 국제 표준기구에서 정한 규격에 맞춰 거칠기, 높이, 폭 등 다양한데이터를
그래프, 엑셀, 2D·3D 이미지로 폭넓게 나타냅니다.
매우 일반적으로, 자연 및 제조 된 표면은 다양한 정도의
구조, 물결 모양 및 거친 정도 (2D · 3D)로 기본 형상 을 구성합니다.
사용자는 이러한 데이터를 임계 치수, 계단 높이, 피크 - 투 - 밸리,
부피 또는 기울기 등의 파라미터로 나타 낼 수 있습니다.
나노시스템은 Sample의 거칠기를 평가하기 위해 ISO, ASME, EUR 과 같은
다양한 국제 표준기관에서 얻은 30개 이상의 거칠기 매개변수를 가지고 있습니다.
저희 나노시스템에서는 ISO 25178을 준수합니다.
높이, 공간, 하이브리드, 기능 및 용적 매개 변수등 완벽한 거칠기 파라미터들을 선택할 수 있습니다
ISO 4287 규격으로 2D 측정 분석 데이터 와 매개 변수들을 제공합니다.
나노시스템은 거칠기 뿐만 아니라 거리, 높이, 고랑, 피크분포도, 프랙탈분석, 질감등방성, Abbott곡선 등
다양한 프로필을 제공해 data관리에 도움을 드립니다.
Provides a variety of profiles
Dimple
Trace
Pad
Metal mask
MCP unit
Glass defect
OLED pattern
Bump on BGA
Laser marking on wafer
Engineering·Optical·Precision Parts
Copper roughness
Ball end mill
COG decap
MEMS
Nuclear pipe
MLCC
Micro lenses
Film scratch
Organic pattern
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