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测量原理

测量•检测领域的世界级Leading Company

WSI·PSI

白光干涉仪(WSI)能测量柔软、正常粗糙表面的表面高度,
与NA无关,提供0.5纳米垂直分辨率。不损伤垂直分辨率,可使用所有倍率。

相位差干涉仪(PSI)提供0.1纳米的垂直分辨率。
因此,使用非常低的倍率(2.5X)能提高高度分辨率并获得较大的FOV。

ISO 25178 · 4287 国际规格标准化数据

按照ISO国际标准机构规定的规格,以图表、
表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。

3D Surface Profiler的特点

一般地,天然和制造表面以多种程度的结构、
波纹形状及粗糙程度(2D•3D)构成基本形状。

用户可用临界尺寸、阶梯高度、峰谷比、
体积或倾斜度等参数来表示这些数据。

Roughness evaluation of images

Nano System利用从ISO、ASME、
EUR等多家国际标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。

ISO parameters 25178

Nano System遵守ISO 25178。
可选择高度、空间、混合、功能及容积参数等完美的粗糙度参数。

ISO parameters 4287

按照ISO 4287规格,提供2D测量分析数据和参数

Provides a variety of profiles

Nano System不仅提供粗糙度数据,还提供距离、高度、沟度、
峰值分布度、分形分析、均质性、Abbott曲线等多种资料,帮助管理数据。

Provides a variety of profiles

  • Dimple

  • Trace

  • Pad

  • Metal mask

  • MCP unit

  • Glass defect

  • OLED pattern

  • Bump on BGA

  • Laser marking on wafer

Engineering·Optical·Precision Parts

  • Copper roughness

  • Ball end mill

  • COG decap

  • MEMS

  • Nuclear pipe

  • MLCC

  • Micro lenses

  • Film scratch

  • Organic pattern

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