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측정원리

WSI/PSI 측정 원리

WSI와 PSI는 다른 측정 원리이지만 다중 파장 또는 단색 파장을 이용하는 점을 제외하고는 동일한 광학 및 측정 시스템을 사용 하기 때문에 같이 사용될 수 있습니다.

두 측정법의 공통적인 특징은 간섭 신호를 이용하는 점입니다. 간섭 신호란 임의의 기준점에서 동시에 출발한 광이 각기 다른 광 경로(Optical Path)를 이동한 후 합쳐질 때 두 광이 지난 거리차(optical path difference)에 따른 물리적 현상이 빛의 밝고 어두운 형태로 표현되는 것을 간섭 신호라고 합니다.

예를 들어, 아래의 그림과 같이 잔잔한 호숫가에 두 개의 돌을 던졌다고 생각해 볼 때, 두 개의 파장이 발생하게 됩니다. 파동은 진원지를 중심으로 퍼져나가다 두 파동이 서로 중첩되면서 더욱 강해지거나 약해지는 현상을 파동의 간섭이라 합니다. (빛의 파동성질) 이 때 간섭 패턴(Interference Pattern)이 발생하게 됩니다.

위의 원리를 이용하여 아래 그림과 같이 간섭을 발생시켜 WSI/PSI 측정 방법으로 사용합니다.

이때 간섭무늬가 반구 위 형상에서는 원모양 평면 위에서는 선형 모양을 보이게 됩니다. 간섭무늬에서 각 무늬 띠는 동일한 높이임을 의미하며 이는 지도상의 등고선과 같습니다.

자세한 WSI/PSI 측정 원리는 아래의 그림과 설명을 참고하세요.

WSI (White-Light Scanning Interferometry) 측정원리

WSI 의 특징

– 스캔범위를 연속적으로 스캔하면서 측정함
– 스캔가능 범위내의 높이는 측정 가능함

PSI (Phase Shifting Interferometry) 측정원리

PSI 의 특징

– 중심파장(약600nm)의 ¼ 씩 4회 스텝이동하여 측정함
– 스캔범위에 관계없이 높이 250nm 이하정도 측정 가능함

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