Company

회사

주식회사 나노시스템을 소개합니다.
Product

제품

주식회사 나노시스템의 제품을 소개합니다.
Technology

기술

나노시스템에 기술을 확인하세요.
Career

인재

나노시스템은 능력있는 당신을 기다립니다.
Contact Us

온라인문의

온라인문의.
News&Notice

나노시스템 소식

나노시스템 소식을 확인하세요.

EINS

Sitemap Mobile Menu
KR EN

주요 제품

측정·검사 분야의 세계적 Leading Company

디스플레이 & 반도체 장비 표면처리 전문 기업

각종 공정 장비에 최적화된 표면처리 기술 적용

PECVD
  • DIFFUSER

    • SDC의 주요 공급사
    • Protective코팅 적용 (특허 보유)
    • E-cleaning 적용 (특허 보유)
  • SUSCEPTOR

    • SDC의 주요 공급사
    • CO 코팅적용 (아인스의 독보적 기술)
DRY ETCH
  • UPPER
    ELECTRODE

    • Dry Etch공정에서 플라즈마 발생을 위한 전극역할 Glass에 일정하게 분배
    • E2 코팅 적용 (특허 보유)
    • FOC 코팅적용 (아인스의 고유 기술)
  • BOTTOM
    ELECTRODE

    • Dry Etch 공정에서 Glass의 지지 역할
    • Glass 표면에 온도를 일정하게 유지
    • FOC 코팅 적용 (아인스의 고유 기술)
    • NCE 적용 (아인스의 고유 기술)
SEMI - CONDUCTOR
  • HEATER

    • 온도 안정성을 유지하며 고온으로 가열하는 역할
    • CO코팅 적용 (아인스의 고유 기술)
  • SHOWER
    HEAD

    • LCD의 DIFFUSER와 비슷한 역할
    • Chamber 내에 반응기체를 분사하는 모듈
    • Protective 코팅 적용 (특허보유)
    • E-cleaning 적용 (특허보유)
  • ESC
    ELECTRODE

    • 장비 내부의 정전기를 이용해 정전기의 힘만으로 기판과 전극
    • 사이에 간격을 일정하게 유지
    • E2코팅 적용 (특허븅)
  • PROCESS
    CHAMBER

    • Process가 진행되는 진공장비
    • Type Ⅲ 코팅 적용 (Lam社 국내코팅 승인)
    • UDI Sealing 적용 (특허보유)

개인정보처리방침

닫기

이메일주소무단수집거부

닫기

사이트맵

Company
Prodoct
Technology
Career
Contact Us
News&Notice
닫기

닫기