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특허 및 인증 현황

특허 출원 및 등록

번호 구분 출원/등록일 출원/등록번호 명칭
1 등록 2001.02.27 290086 백색광주사간섭법을 이용한 투명한 박막층의 3차원 두께 형상 측정 및굴절률 측정 방법 및 그 기록매체
2 등록 2006.10.26 10-0641885 수평 방향 스캐닝 방식의 광위상 간섭측정방법 및 장치
3 등록 2007.08.17 10-0751924 3차원 형상 측정장치
4 등록 2009.09.02 10-0916593 실시간 3차원 형상 측정 시스템
5 등록 2010.02.12 10-0943405 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템
6 등록 2010.02.12 10-0943406 간섭렌즈에 있어서 온도 변화에 따른 대물렌즈의 작동거리변화로 발생하는광 경로의 차이를 보상하기 위한 간섭생성부 위치의 자기보상장치
7 등록 2010.02.12 10-0943407 전사 방식의 3차원 형상 측정 시스템
8 등록 2012.09.07 10-1182807 간섭계에서의 광경로 조정 장치 및 이를 이용한 광경로 조정 방법
9 등록 2013.04.08 10-1254297 형상 및 두께 측정시스템과 형상 및 두께 측정방법
10 등록 2014.11.10 10-1462046 유리판의 모서리 가공장치

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